6,000 تومان
  • فروشنده : maghale

  • کد فایل : 27110
  • فرمت فایل دانلودی : .doc
  • تعداد مشاهده : 2667

آخرین فایل ها

- بیشتر -

دانلود تحقیق حکاکی

دانلود تحقیق حکاکی

0 2.7k
دانلود تحقیق حکاکی
 دانلود تحقیق حکاکی تعداد 45صفحه  آموزشی ویژه شما دانشجویان گرامی بصورت ورد قابل ویرایش با تخفیف ویژه از وبسایت قابل دانلود می باشد
نام فایل: دانلود تحقیق حکاکی
فرمت فایل :ورد
تعداد اسلاید ها: 45صفحه
قسمتی از فایل
دریافت

لایه نازک SiO2

معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود.

حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد.

حکاکی Anisotropic حکاکی در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4  خوب نیست .

 

حکاکی لایه نازک Si3N4

حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC   می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است.                                                    حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون                                           ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6 و CH3F انجام می شود.

 

حکاکی قربانی ( sacrificial )

قابلیت انتخاب حکاکی sa

6,000 تومان